Metòd fizik faz anpile a se metòd endikap pou preparasyon penti PVD, ki gen ladan kouch vakyòm, mayetron sputtering ak plating ion arc, nan mitan ki, lè se ion plating itilize yo prepare penti PVD, to a ionization se wo, pousantaj la akimilasyon se vit, epi li gen avantaj yo nan bon jan kalite. Sepandan, sa a kouch PVD gen gwo polisyon patikil, ki mennen nan pwoblèm tankou aparans kouch ki graj, adisyon porositë, ak fonksyon kouch enstab, ki afekte itilize nan kliyan yo. Men ki jan yo amelyore kouch PVD ak patikil gwo.
1. Entwodiksyon nan eleman latè ki ra
Entwodiksyon nan eleman ki ra nan objektif katod ak penti PVD diminye patikil ion plating ak amelyore dansite a amann nan penti, ak amelyore pwopriyete yo fizik ak mekanik ak pwopriyete segondè-tanperati nan penti yo nan mekanis nan modifikasyon tè ki ra, efè a se evidan. Ra latè CE gen yon efè evidan sou diminye ti gout, ak kouch nan PVD modifye pa Latè ra pa sèlman gen yon ti dansite ti gout, men tou, gen mwens ti gout gwo. Rezon ki fè la pou amelyorasyon nan kondisyon an patikil kouch nan ra latè CE yo ta dwe dirèkteman gen rapò ak bon jan kalite a métallurgique nan objektif pwogrè latè ra.
Eleman latè ki ra lajman itilize yo se pwosesis métallurgique CE a pou degazaj, desulfurize, ak ranfòse nan kalite materyèl metal. Ka bon jan kalite a métallurgique ak fonctionnalités nan materyèl la ap leve soti vivan nan entwodwi apwopriye eleman nan dilution CE nan objektif la. Kèk porositë, konpozisyon omojèn, ak grenn amann nan materyèl la sib-wo kalite ede rafine patikil yo ki te pwodwi nan katod la. Li ka bese posibilite pou fwagmantasyon materyèl ak pwojeksyon nan rejyon an plas pisin katodik micromelt ki soti nan presyon an segondè ki te pwodwi pa ekspansyon an brid sou gaz la nan porositë yo fèmen nan tanperati ki wo. Pa evite oswa diminye efondreman an ak flyaway nan materyèl fèb estokaj ki soti nan yon pati nan jaden elektrik oswa estrès thermoelastic, aranjman nan sib ka ede bese jenerasyon an nan patikil gwo. Apa de CE, eleman ra latè tankou Y oswa LA gen enfliyans konparab.
2. Nouvo sistèm elektwomayetik la
Sa a te konpetans konsidere soti nan konsepsyon an nan objektif katod amelyore ak optik plasma. Lide a se nan konsepsyon yon nouvo estrikti jaden mayetik andedan ak deyò sib la, ki gen ladan yon bobin espesyal elektwomayetik ak yon leman pèmanan ak yon estrikti espesifik, se konsa ke li fòme yon sistèm vout mayetik jaden sou sib la katod, konsa tankou kontwole ak kontwole tras la kouri nan plas la katod, akselere vitès mouvman li yo, epi diminye tan an rezidans nan plas la arc sou yon pwen sèten sou yon pwen sou objektif la.
3. Ajoute yon defle nan aparèy la
Analiz la revele ke distribisyon an dominant nan patikil yo gwo se nan rejyon an nan yon ang 60 degre nan sifas la nan sib la ark; Se konsa, yo ka mete yon deflèkte nan devan sib la ak pi ba nivo polisyon nan gwo kouch patikil la. Pandan ke gwosè a nan patikil gwo te pi piti pase 2 μm, dansite nan patikil gwo tonbe soti nan 2.3 x 105\/mm2 a 1.4 x 103\/mm2 san yo pa defle pa t 'chanje anpil. Men, yon fwa yo mete an plas an plas, objektif kouch PVD a soufri nan adisyon a bese to akimilasyon an.
4. ladrès katod kre
Nan ark ion plating anpile kouch PVD a, se gwo bout bwa a elèktron emèt pa katod a kre prezante diminye gwosè a patikil gwo nan kouch nan prepare, men metòd sa a mande pou adisyon a nan yon aparèy katod kre nan ekipman an ion konvansyonèl.
5. Arc Filter mayetik
Metòd la nan entwodwi Plasma a nan chanm lan akimilasyon lè l sèvi avèk ARC filtre a mayetik separe patikil yo gwo soti nan plasma a te reyalize yon efè bon, men pousantaj la akimilasyon nan metòd sa a se pi ba anpil pase sa yo ki an òdinè ak ion plating.
Pi wo a la se entwodiksyon an nan metòd la nan amelyore patikil yo gwo nan kouch PVD, nan preparasyon an nan kouch PVD, ou ka al gade nan pi wo a senk metòd yo asire ke estrikti nan sifas kouch se amann, porositë a se ki ba, ak pwopriyete yo ki estab, se konsa ke efè a itilize nan kouch a pral pi bon.