DLC Diamond-tankou kouch se yon metastable amorphe fim mens, ki gen karakteristik sa yo-wo kalite nan dyaman ak grafit, e li gen avantaj ki genyen nan bon dite, konduktiviti tèmik, koyefisyan ki ba friksyon, ekselan pèfòmans izolasyon elektrik, gwo estabilite chimik, elatriye, epi li se lajman itilize nan machin fabrikasyon, biomedicine, elektwonik, elektwonik, epi yo se lajman itilize nan machin. DLC kouch se sitou prepare pa metòd fizik akimilasyon faz vapè ak metòd chimik akimilasyon faz vapè, epi li se manifaktire pa ekipman akimilasyon espesyal. Sa ki anba la a se yon entwodiksyon tou kout sou senk pati yo ki fè moute ekipman an depozisyon kouch.
1. chofaj ak dlo sistèm refwadisman
Sistèm chofaj la ak sistèm refwadisman dlo a respire distribiye alantou sal akimilasyon an, epi tanperati chofaj la, vitès ak volim dlo yo kontwole ak reglabl, epi li enstale aparèy alam ki koresponn lan; Se sistèm nan wotasyon ki sitiye nan pati anba a nan chanm lan akimilasyon epi li se izole pa seramik izolasyon, ak vitès la wotasyon se kontwole ak reglabl.
2. Sistèm Vacuum
Sistèm vakyòm lan konsiste de yon ponp mekanik, yon ponp rasin, yon ponp difizyon ak tiyo kontwòl ki koresponn lan ak eleman mezire, ki ka lib chanje ant segondè ak ba vakyòm dapre kondisyon yo ki pwosesis.
3. Sistèm ekipman pou gaz
Se sistèm nan ekipman pou gaz yo mete sou tèt la nan chanm lan akimilasyon, ak varyete yo gaz gen ladan H2, N2, AR, CHA, C2H2, ak Si-ki gen gaz, ak de interfaces yo rezève nan tèt la nan chanm lan akimilasyon fasilite adisyon a nan lòt varyete gaz nan lavni.
Yo nan lòd yo jwenn kouch nan tranzisyon ki gen SI, SIH4 se anjeneral itilize kòm gaz la materyèl, men SIH4 se pi danjere, se konsa nou chwazi mwens danjere Si-ki gen gaz la kòm sous la SI nan pwosesis la kouch.
4. Sistèm sib la anpile
Ekipman an gen de inite anpile, PVD ak PCVD, entansyon prensipal la nan inite a PCVD se pou akimilasyon nan dyaman-tankou (DLC), ekipman pou pouvwa a chwazi se pouvwa a batman kè pouvwa, paramèt yo ka ajiste youn apre lòt, apre yo fin ak akimile nan, epi yo ka ak akimile nan, epi yo ka akimile nan, epi yo ka akimile nan, epi yo ka akimile nan, epi yo ka akimile yo, epi yo ka akimile yo, epi yo ka fè yo, epi yo ka akimile yo, epi yo ka akimile yo, epi yo ka fè yo, epi yo ka fè yo, yo ka fè yo, yo ka fè yo, yo ka fè yon lòt bagay, yo ka fè yo, yo ka ajiste yo, yo ka mete yo, yo ka mete yo, yo ka fè yon lòt bagay, yo ka ajiste yo. Li kapab tou kouvwi sou pyès la konplèks; Entansyon prensipal yo nan inite a PVD yo se: (1) pou substrats diferan, objektif diferan ka ranplase ak objektif diferan, ak diferan kouch adezif oswa metal-doped penti DLC ki gen varyete diferan nan eleman ka devlope; (2) Apre ranplase sib la, yon varyete de penti konpoze nan "kouch fonksyonèl + DLC" pou kategori diferan ka fòme.
5. Sistèm kontwòl elektrik
Sistèm kontwòl elektrik la adopte PLC konplè kontwòl aktif, ki gen ladan òdinatè lame, PLC kontwolè pwogramasyon, konvètisè adaptasyon, ekipman pou pouvwa kontwòl, rezèv pouvwa kontwòl vakyòm ak sistèm mezi, ekipman pou kontwòl lè pouvwa, sistèm kontwòl tanperati a, refwadisman dlo deteksyon ekipman pou, elatriye. ak kontwole nan tan reyèl. Si gen yon pwoblèm, aparèy la pral pran inisyativ la alam, ak dapre nivo a alam, aparèy la pral chwazi "ap tann" kondisyon an oswa sispann dirèkteman, epi kontinye opere apre yo fin alam la elimine. Dosye operasyon yo ak dosye alam nan chak gwo founo dife yo aktivman ki estoke nan òdinatè a pou referans fasil. Selon kondisyon yo, yo ka chanje ekipman an nan operasyon konplètman manyèl, ak paramèt yo kouch ka ajiste nan koòdone nan operasyon prensipal pandan pwosesis la kouch.