Nan pwosesis manifakti modèn semi-conducteurs, robo wafer, kòm youn nan ekipman kle yo, jwe yon wòl enpòtan anpil. Wafer robo yo sitou itilize pou manyen wafer, klasman ak pwosesis, ak presizyon yo ak efikasite dirèkteman afekte efikasite an jeneral ak sede nan pwodiksyon semi-conducteurs. Estrikti ak prensip k ap travay nan robo wafer la se jan sa a:
Estrikti
1.Robotic bra: Bra robotik nan robo wafer anjeneral fèt ak aks miltip reyalize degre segondè nan libète mouvman. Kalite komen nan bra robo gen ladan SCARA ak robo Cartesian.
2. Efektè fen: Sa a se pati ki dirèkteman kontakte ak pwan wafer la, anjeneral ki fèt kòm yon gode pou aspirasyon vakyòm oswa aparèy mekanik asire ke wafer la se ki estab epi li pa domaje pandan manyen.
3. Sistèm kontwòl mouvman: ki gen ladan motè servo ak kondwi, ki itilize pou kontwole mouvman bra robotik la pou asire pwezante egzak ak operasyon lis.
4. Capteur: itilize yo detekte pozisyon, gwosè ak estati wafer la, kalite Capteur komen yo enkli detèktè foto-elektrik ak detèktè lazè.
5. Sistèm kontwòl: ki gen ladan kontwolè ak lojisyèl pou pwogramasyon ak kontwole operasyon an nan robo la. Sistèm kontwòl souvan entegre algoritm avanse pou pèmèt pi bon planifikasyon chemen ak koreksyon erè.
Ki jan li fonksyone
1.Inisyalizasyon ak pwezante: robo a detèmine pozisyon nan tèt li ak wafer sib la atravè detèktè. Sistèm kontwòl la inisyalize pozisyon bra robot la epi prepare li pou fè travay la manyen.
2. Gen tan pwan wafer la: Dapre enstriksyon yo nan sistèm kontwòl la, bra robot la deplase nan pozisyon kote wafer la sitiye. Fen-efèktè a kenbe wafer la atravè yon gode pou aspirasyon vakyòm oswa pinza mekanik pou asire ke wafer la estab epi li pa domaje.
3. Wafer manyen: Bra robotik la transpòte wafer la nan kote sib la sou yon chemen Predetermined. Pandan pwosesis sa a, sistèm kontwòl mouvman an asire ke bra robot la deplase san pwoblèm e ke wafer la pa sibi chòk oswa vibrasyon.
4. Plasman wafer: Bra robotik la pral mete wafer la jisteman nan pozisyon sib la, ak efè fen a pral dekole wafer la pou konplete travay la manyen.
5. Retounen nan pozisyon inisyal la: Bra robotik la retounen nan pozisyon inisyal la epi li pare pou fè pwochen travay manyen la.
An konklizyon, robo wafer jwe yon wòl enpòtan anpil nan fabrikasyon semi-conducteurs, ak presizyon segondè yo ak efikasite fè yo ekipman endispansab nan pwosesis la fabrikasyon semi-conducteurs.
